光刻機是芯片制造過程必不可少的設備之一，其重要性在于決定著芯片制程的先進程度。7nm以下制程必須要用EUV，7nm以上的14nm、28nm等制程需要用DUV。
EUV只有ASML能夠生產，已被禁止出貨給中企。如今DUV也被盯上，美方一直在拉攏日、荷共同實施限制。近日，ASML正式確認：新規達成！中芯國際竟早有準備。
ASML確認新規達成
美方之所以拉攏日、荷，主要是因為芯片制造用的前道光刻機，目前只有3個國家4家企業能夠生產，分別是：荷蘭ASML，日本的尼康和佳能，我國的上海微電子。
EUV光刻機，只有荷蘭ASML一家能夠生產。DUV又分為ArFi、ArF、KrF三種，ArFi浸沒式光刻機除了ASML，尼康也能生產，而佳能和上海微電子只能生產低端的。
ArFi可用于生產45-7nm制程的芯片，所以美方限制DUV光刻機才會拉上日、荷。
去年10月份，美方收緊芯片限制措施，計劃限制14nm及以下先進的芯片制造設備出口。美方雖然有三大半導體設備巨頭，但光刻機卻不擅長，于是開始跟日、荷溝通。
日方一向積極配合，重點是荷蘭方面，起初荷蘭態度也非常強硬，表示不會照搬美方限制。近日，三方又就限制設備出口問題進行了溝通討論，據說已經達成了協議。
對此，ASML正式確認，據了解政府之間已經達成協議，不過具體實施還需要時間。
中芯國際竟早有準備
三方達成協議的目的，自然是為了限制向我們出口先進的芯片制造設備，其中就包括ASML、尼康和東京電子等廠商的設備。其實，最關鍵的還是ASML的DUV光刻機。
目前，我國先進的晶圓制造企業有三家進入到全球前十名，分別是排名第五的中芯國際、第六華虹集團和第九合肥晶合集成。尤其中芯國際，DUV光刻機需求量最多。
近兩年， 中芯國際連續投資建了4個28nm成熟制程廠。不過，中芯已經早有準備。
首先，中芯國際早就續簽協議。光刻機因為非常復雜，制造時間也很長，交付期一般在1年半到兩年時間左右。因此，為正常到貨，都需要提前一兩年就跟ASML預訂。
中芯國際既然要大舉擴產建廠，自然也需要提前預定DUV光刻機這個最重要的設備。
為此，中芯國際在去年初，就跟ASML續簽了價值12億美元的協議，大機率就是預定DUV。DUV光刻機4千萬美元一台，如果12億美元都是DUV的話，那將是30台。
其次，中芯國際已經預付資金。不僅續簽了協議，中芯國際還提前預付了設備訂購的資金。前段時間，多個半導體制造商紛紛削減資本支出，而中芯國際卻提高支出。
對此，中芯國際聯合CEO趙海軍還進行說明，2022年資本支出從50億美元上調至66億美元，主要是為多條12英寸新產線準備，要支付長交期設備提前下單的預付款。
光刻機是所有設備中支出占比最高的，提高的16億美元支出中光刻機肯定占比不少。
再者，ASML應該會加速出貨。ASML近日才表示，DUV可以正常出貨給中企。在協議達成后，還特別指出具體實施應該要在數月之后，并且對2023年營收影響不大。
這意思相當于表示，在限制實施之前應該可以完成對中芯國際的DUV光刻機交付。
美方實施芯片禁令，一般都會有個緩沖期。之前，讓台積電停止給華為代工芯片，就給了120天緩沖期，利用這個時間加速給華為生產了不少芯片，ASML應該也可以。
雖然中芯國際不可能預先知道，美日荷三方會達成協議，但限制一直存在，當然也會提前未雨綢繆。因此，中芯國際才會早早續簽協議、預付定金，爭取早日獲得DUV。
另外，ASML總裁近日還發出警告，美方一味實施限制，只會加速中企突破，生產出跟ASML匹敵的光刻機。再說，上海微電子一直在加速攻堅，國產28nm光刻機也快了！
對此，有外媒評價道：不只中芯國際早有準備，其實中國芯片產業也早就開始布局！
