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中企光刻機到貨!ASML要和美「硬剛」了
2023/01/09
2023/01/09

前段時間,華為公布了一項光刻機技術相關專利,迅速引起了廣泛關注。然而,光刻機涉及的專利非常多,一項專利影響有限,但卻反映出大家對國產光刻機的期待。

光刻機是芯片制造過程中最核心的設備,也是我們設備最大的短板之一,如果不是國外限制,恐怕水平會更高。如今,又一中企首台光刻機入廠,ASML做出了選擇!

盡管目前國產光刻機的水平還相對較低,但至少我們還有光刻機企業上海微電子。全球僅三個國家、四家企業能夠生產芯片制造用的前端光刻機,我國就是其中之一。

日本的尼康和佳能曾經也是光刻機霸主,後來被荷蘭的ASML超過,目前僅能出貨中低端光刻機,而ASML占據了中高端光刻機市場,尤其是壟斷了高端EUV光刻機。

我國的上海微電子的前道光刻機才能做到90nm, 目前正在向更高的制程發起沖擊。

然而,就在這個關鍵時刻,上海微電子又被美方加入到了「實體清單」,恐怕發展進程還會受到一些影響。不過,正是因為有了上海微電子,我們才不會徹底受限制。

至少可以保證我們一些關鍵部位的芯片生產,因為那些對制程要求沒那麼高。然而,如果商用的話,制程就相對較低了,一般都需要28nm成熟制程的DUV光刻機。

由于EUV光刻機被美限制,一直以來我們的企業主要從ASML購買DUV等光刻機。

前段時間,上海鼎泰匠芯的潔凈室交付使用,搬入了首台ASML光刻機,用于車規級半導體產品及通訊終端芯片的開發及制造。近日,又有一家中企首台光刻機入廠。

就在2022年的最后幾天,重慶銳石創芯發布消息,其濾波器生產基地項目一期首台ASML光刻機入廠,將用于生產高性能的4G/5G射頻前端產品MEMS濾波器芯片。

該公司沒有公開搬入的ASML光刻機是什麼型號,不出意外應該就是DUV光刻機。

如今,不管是中企還是ASML,面臨的形勢都很復雜。尤其是作為全球光刻機霸主的ASML,占據了全球光刻機市場80%左右的份額,更是被美拉攏擴大限制的目標。

之前,ASML已經按美要求,限制EUV光刻機出貨給中企。如今,主要依賴DUV光刻機在大陸地區開展市場。因為美方限制先進制程的發展,大陸重點發展成熟制程。

尤其近幾年,大陸正在建設或規劃建設的晶圓廠達到幾十座,需求最大的就是DUV。

ASML正是看到了這個趨勢,所以加大了在大陸地區的布局,增加了人員招聘,不斷擴大相關機構,去年還首次設立了「ASML中國日」,并且連續四次參加上海世博會。

以上這些,足以看出ASML對大陸市場的高度重視,畢竟已經成了其第三大海外出貨地。為進一步擴大市場份額,ASML不斷擴大產能,計劃2025年出貨600台DUV。

這麼大的DUV光刻機出貨量,顯然是把大陸成熟制程擴展的DUV需求考慮在內的。

然而,美方又盯上了ASML的DUV光刻機,想要其擴大限制DUV出貨給中企。對此,ASML直接表示拒絕,認為那將會導致全球供應鏈中斷,并且表示他們是歐洲公司。

同時,荷蘭大臣表示,美方不應該對他們的企業發號施令,他們也不會完全照搬美限制。但之后有美媒傳出消息,荷蘭似乎又和美達成協議,將會和美共同實施限制。

而ASML依然不太愿意,總裁甚至直接對美限制政策提出質疑,這基本表示了態度。

ASML的態度也反映到了行動上,就是繼續向中企出貨,不只是鼎泰匠芯、銳石創芯等獲得ASML的光刻機,近日ASML還中標了華虹半導體12英寸產線的1台光刻機。

上海積塔半導體還發布了1台ArFi浸沒式掃描光刻機招標,不出意外還會是ASML中標。對此,有外媒表示,ASML堅持向中企出貨DUV,這似乎是要和美「硬剛」了!

目前,我們還不得不購買ASML的光刻機,但還是希望能夠盡快用上國產的光刻機!

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