要想生產制造芯片,就必須用到光刻機,但美一直都在限制ASML出貨,還拿出了三方協議進一步限制ASML出貨DUV光刻機。
據了解,在出貨方面,ASML一直都不愿意配合美,其多次明確表示,將向國內廠商提供其能夠提供的一切技術,并對全球廠商一視同仁。
美對ASML游說,希望其進一步收緊國際主流光刻機的出貨范圍,結果被ASML拒絕。
美日荷簽訂三方協議后,ASML率先透露這一消息,表示6月份前才會立法落地,目的就是希望有需要的廠商盡早下單。
不僅如此,ASML還通過官網表示,三方協議限制2000i和2050i型號的DUV光刻機,1980Di型號的DUV光刻機將會持續出貨,該光刻機在多重曝光技術下,能將芯片縮小至7nm。
另外,ASML總裁還來華參加中國高層發展論壇,并強調,如果不是瓦森納協定,中國將會成為EUV光刻機最大的消費市場。
也就是說,ASML明確繼續出貨DUV光刻機,該設備也是可以用于7nm等工藝,但中芯國際卻出現了幾個奇怪情況。
首先,中芯國際不作聲。
ASML表明態度,將持續向國內廠商出貨DUV光刻機等設備,最大贏家應該是中芯國際,但中芯國際卻默不作聲。
要知道,中芯國際大規模擴產28nm等成熟工藝的芯片,提升14nm等先進工藝產能,都需要用到DUV光刻機。
另外,中芯國際已經完成了7nm研發任務,而DUV光刻機在多重曝光工藝下,是可以將芯片制程縮小至7nm。
其次,中芯國際不再提及7nm等先進工藝。
中芯國際已經能規模量產14nm以上工藝的芯片,還小規模試產了N+1工藝的芯片,但中芯國際卻一直都提及28nm等工藝的芯片。
例如,中芯國際表示28nm等成熟工藝的風險進一步降低;在已經量產的芯片中,中芯國敢于同國際大廠相比較。
但中芯國際卻很少提及14nm/N+1等工藝,即便是3年前就完成研發任務7nm工藝,中芯國際也不再提了。
最后,不再提及購買光刻機事宜。
要知道,中芯國際曾一次性購買11億美元的光刻機等,還將2022年的資本開支從50美元,提升到66億美元,目的也是購買先進設備。
如今,三方協議將落地,ASML也表示可以繼續出貨,但卻沒有中芯國際購買光刻機的消息了。
畢竟,2000i和2050i型號的DUV光刻機,6月份后將不能出貨,而這兩款設備是EUV光刻機的過渡產品。
對于中芯國際出現的這幾個奇怪情況,或許就是因為中芯國際想低調一些,畢竟,美一直都在修改芯片規則,一次比一次限制范圍更大,中芯國際低調也是為了發展需要。
另外,美計劃鎖死14nm以下工藝,而中芯國際已經掌握14nm/N+1等工藝,但為了發展,中芯國際最好就低調,畢竟,畢竟部分設備還是需要進口。
還有一點就是,中芯國際將重點放在成熟工藝擴產上,但沒有忘記先進工藝的研發推進,只不過是默默推進,韜光養晦。