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國產光刻機關鍵技術「破冰」,ASML不想看到的局面發生
2022/09/04
2022/09/04

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ASML多次表態,希望能爭取自由出貨,讓美國盡早回頭改正錯誤。否則一旦客戶自己掌握光刻機技術,到時候ASML的光刻機就不好賣了。

而ASML不想看到的局面發生了,國產光刻機關鍵技術「破冰」,中企公開了一項事關EUV光刻機的專利技術。這項技術「破冰」說明了什麼?ASML呼吁自由出貨,美國能聽進去嗎?

國產光刻機技術「破冰」

ASML對掌握EUV公開量產能力顯得十分自信,一度表示哪怕公開圖紙,中國也造不出來。

其實ASML并沒有夸大這句話,造EUV光刻機的難度的確很高,沒有全球化產業鏈的支持,可能連門檻都邁不過。但隨著時間的推移,ASML變得沒那麼自信了,改口表示物理規則在中國是一樣的,永遠別說永遠,他們一定會去嘗試的。

ASML這樣的態度相較以前完全不同,以前是驕傲和自信,現在是謙和與擔憂。

其實可以理解ASML的態度變化,能夠量產EUV光刻機的確值得驕傲,全球范圍內只有ASML一家公司能做到,也確實有自信的底氣。但是光刻機造出來是需要賣的,不管是EUV光刻機還是DUV光刻機,如果賣不出去也沒用。

然后美國制定的規則讓ASML無法順利在大陸做EUV光刻機的生意,所以為了保障DUV光刻機在中國大陸的市場,ASML不再擺架子,表示會加快中國市場布局,還強調DUV光刻機是可以自由出貨的。

除此之外,ASML還夾雜著擔憂的情緒。畢竟一旦中國大陸取得最終的突破,以后ASML就算獲得出貨許可,也不可能獲得大量訂單。

這樣的局面顯然不是ASML希望看見的。可越是如此,ASML不想看到的局面越容易發生,因為中企公布了一項專利,實現國產光刻機的關鍵技術「破冰」。

公開信息顯示,上海傳芯半導體公布了一項名為「曝光成像結構、反射式光掩模版組及投影式光刻機」的專利技術,這項專利對提高光刻機分辨率和對比度,以及簡化光刻工藝有幫助。

這項技術「破冰」說明了事在人為,有一項技術突破后就會有第二項,第三項,國外能實現的技術,相信國內也可以。別看EUV光刻機被過度神話,其實也被一件件技術產品拼裝起來的,在眾多的專利支持下,完成最后一塊拼圖,實現量產。

ASML對專利是十分重視的,也時刻關注中企在這方面的積累布局。有關注行業動態的人或許會知道,今年2月份,ASML指控中國企業東方晶源可能銷售侵權專利的產品,要求客戶放棄與這家公司的合作。

但東方晶源否認侵權,其擁有完備的知識產權體系。從這一案例可以得知,ASML擔心別的企業在核心技術上取得突破,在未來存在動搖自身地位的可能性。

ASML呼吁自由出貨,美國能聽進去嗎?

或許ASML知道無法阻止這一切的發展,是否侵權也不是ASML說了算的,所以ASML采取的策略是加大出貨量,勸誡美國放開自由出貨。試想一下,若生產線都采用了ASML的光刻機,以后自己的設備取得突破后,又能獲得多少訂單呢?

ASML搶先占有市場,光刻機一旦安裝到生產線以后,就很難進行更換。所以ASML呼吁自由出貨,目的是為了保障市場占有率,可是美國能聽進去嗎?

顯然是不可能的。美國要是能聽進去別人的勸告,就不是美國了。ASML不止一次向美國表示阻礙出貨的嚴重性,這會導致全球供應鏈中斷。但從始至終美國沒有一次回應過ASML的表態,反而試圖把禁止出貨的范圍擴大至DUV光刻機。

所以ASML的勸告是一回事,美國能不能聽得進去又是另外一回事了。

我們也不能將破局的希望放在ASML身上,ASML再怎麼說也是外企。該公司呼吁自由出貨只是為了賺更多的錢,實現商業公司對股東,投資者的責任和義務。真正的核心技術還是得靠自己,通過加大研發投入,實現最終的突破。

所幸的是已經有中企加大這方面的布局力度了,在國產光刻機產業鏈中,也有眾多頭部玩家布局光刻機的核心部件。

總結

ASML加大對中國市場的出貨量,從合作的角度來看,ASML的做法是值得認可的。但是從自主技術的角度而言,不能對外部的技術過度依賴,關鍵時刻還得有自己的技術掌握在手中。

EUV光刻機是一座需要仰望的山峰,但只要不斷攀登,總會看見山頂的風光。

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