盛極而衰:拒不提供EUV光刻機的ASML已經不再被需要

過人君 2022/12/06 檢舉 我要評論

ASML

已經過去的2021年對于光刻機巨頭ASML來說無疑是十分成功的一年,營業收入達到186億歐元,凈利潤為59億歐元,毛利率為52.7%。隨著芯片需求的迅猛發展,ASML對于2022年的形勢更是看好,提出銷售額增長20%達到223億歐元的目標。

但是最近ASML的一系列做法特別是拒絕銷售EUV光刻機的選擇讓其逐步陷入了爭議之中,特別是在國產光刻機下線在即,俄羅斯和日本也先后決定推出新型光刻機的時刻,ASML或許不再是必須的存在。

俄羅斯開始研發X射線光刻機

俄羅斯決定繞開EUV光刻機

第一個站出來拋棄ASML是俄羅斯。由于ASML選擇斷供,因此俄羅斯也終于做出艱難的決定——那就是開始自研先進光刻機。得益于以往技術的積累,俄羅斯選擇了一條不同于EUV(極紫外線)的X射線路線。

從光源上來看,EUV(極紫外光)的波長為13.5nm,而X射線的波長則介于0.01nm到10nm之間,因此理論上來說X射線同樣也可以用在包括5nm及以下先進制程中;同時基于X射線制成的光刻機還有另一個顯著的優點那就是可以直寫光刻,因此可以通過節省掉光掩膜版明顯減少成本。

佳能將推出3D光刻機

日本也決定另起爐灶

第二個表明放棄ASML的是日本。作為曾經的半導體以及光刻機大國,日本擁有尼康和佳能兩大昔日的光刻機巨頭。但是在半導體產業遭到打壓之后,光刻機產業也隨之衰落。面對困境佳能和尼康并沒有放棄,終于歷經10多年的努力研發出3D光刻機。

不同于EUV光刻機,佳能推出的3D光刻機是通過改變光刻模式來挺高密度,進而實現更高性能。這也走出了一條不同于ASML的道路,隨著量產的實現也將威脅到EUV光刻機的地位。

EUV光刻機

國產也在積極替換ASML

國內對于ASML的替換也正在逐步進行。其實對于EUV光刻機,國內芯片產業鏈一度抱著共同合作的態度。但是可惜ASML拒絕銷售EUV光刻機,這也導致如中芯國際等芯片廠商卡在7nm工藝難以更進一步。

正所謂長痛不如短痛,不管EUV光刻機再好用,性能再高級,不對我們出售那也就沒有任何意義,所以越早替換ASML對于國產芯片產業鏈來說也就越好。

上海微電子正在研發國產光刻機

對于光刻機的突破也需要多個企業的合作才能完成,隨著包括華卓精科在光刻機雙工件台,北方華創在光刻機熱處理設備,沈陽芯源在光刻機清洗設備,上海精測在光刻機量測設備等方向的突破,國產光刻機的突破也在迅速地開展之中。

ASML將不再是必需品

是時候和ASML說再見了

自主研發無疑是十分艱難的道路,但也是唯一的道路,隨著ASML拒絕銷售EUV光刻機,這也證明除了投入時間和精力進行突破之外已經沒有第二條路可走,因此也是時候和ASML說再見了。

隨著越來越多的企業試圖擺脫ASML以及EUV光刻機,情況已經越來越明顯。光刻機不是第一個需要被突破的項目,當然也不會是最后一個。但就像高鐵、大飛機、光伏等行業一樣,只要下定決心去做終歸會有成功的那一天。


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