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德國光電巨頭在中國建廠,國產光刻機核心部件有望突破?
2022/10/25
2022/10/25

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一提到光刻機,想必大家就會聯想到大名鼎鼎的ASML。其不僅能夠量產DUV光刻機,而且還是全球唯一一家可以量產EUV光刻機的廠商。尤其是EUV光刻機,是其常年在光刻機領域一家獨大的法寶。

也正是因為如此,無論是台積電,還是三星和英特爾等芯片巨頭,他們都希望能夠獲得EUV光刻機的優先使用權和購買權。而台積電之所以能成為全球最大的芯片代工廠商,主要原因也是擁有了80台EUV光刻機。毫不夸張地說,ASML生產的高精度光刻機甚至可以改變半導體行業的走向。

不可否認,荷蘭ASML的光刻機制造技術非常強大,但他們卻不能獨自完成光刻機的制造流程,其所需的零部件超過90%都是從外部采購。

就拿EUV光刻機來說,一台EUV光刻機設備的零部件多達10萬個,需要全球5000多家供應商提供。比如,光刻機閥件來自法國,軸承來自瑞典供應商,光源技術來自美國,鏡片來自德國等等。

作為全球最頂級的光刻機鏡片制造商,德國蔡司理所當然成為了ASML的鏡片主要供應商,沒有之一。原因無他,因為光學系統是整個光刻機最核心的零部件,鏡片的平整度直接影響了光刻機的精度。而符合EUV光刻機要求的鏡片制造商,只有德國蔡司。

可以說,一旦蔡司的頂級鏡片停產,那麼ASML的EUV光刻機都要陷入癱瘓之中,其重要性不言而喻。

近些年來,國產光刻機之所以遲遲無法實現技術突破,最主要的原因之一就是研發不出可以媲美德國蔡司的光學鏡頭。盡管中科院已經推出了高能同步輻射光源,但相比于蔡司鏡頭還存在很大的差距。

讓人沒想到的是,就在10月18日,德國蔡司在蘇州工業園區舉辦了工程奠基儀式,并預計在2024年一季度投產。這是不是就意味著,國產光刻機最核心的鏡片已經取得了重大突破。事實真的是這樣嗎?

但實際上,這次德國蔡司赴我國建設工廠的主要目的,并不是為了生產光刻機的鏡片,而是為了推進高端顯微鏡在中國的本土化生產。說白了,就是生產顯微鏡的鏡頭。

據蔡司方面介紹,他們還計劃在蘇州工廠生產和研發工業X光設備,主要應用于新能源汽車電池,客戶包括寧德時代等國產汽車零部件廠家。

不管怎麼說,德國蔡司來我國建廠也算是一條好消息,至少我們國內相關企業可以去學習人家的經驗和技術。正所謂「有朋自遠方來,不亦樂乎」,我們歡迎像德國蔡司這樣的科技巨頭來中國建廠,多多益善。

至于未來德國蔡司會不會將光刻機鏡頭技術帶進國產光刻機中,就不得而知了。但無論結果怎麼樣,我們都應該記住倪光南院士說過的話:關鍵核心技術是買不來的,國產半導體行業的崛起沒有捷徑可走,只有做到「手中有糧」,才能不再受制于人。對此,你們怎麼看?

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