「斷供華為芯片將打開潘多拉魔盒」,這是美斷供華為之前,華為前輪值董事長徐直軍發出的警告。但老美不顧本土企業的生死存亡,毅然決然斷供了華為的芯片代工業務,高通、美光、英特爾等美芯片巨頭利潤暴跌,也沒有阻擋老美對中企發動的這場「科技戰」。不少人認為,老美已進入一種「病態」!
當我國在芯片產能、工藝方面稍有成就后,美國又聯合日本、荷蘭三方達成了一份協議,旨在聯合國外所有能生產光刻機的企業,限制DUV光刻機的自由出貨。或許忌憚中國市場,荷蘭、日本要麼選擇沉默,要麼表示會以溫和的方式實施限制。所以不少分析人士認為:三方協議很可能會成為一張廢紙,最終難以落地!但我們似乎低估了這種「病態」,也低估了這份三方協議!
日本、荷蘭做出選擇
據報道,日本率先透露了關于這份「三方協議」中的相關限制內容,并且計劃在春季修改法令,限制出口先進半導體所需要的設備,而且日本相關專家還表示,新規很可能會限制日本光刻機企業向中國派遣人力資源,并且停止對之前售出產品的維修等售后工作。隨后,荷蘭傳出消息,荷蘭將和老美一起實施先進芯片制造設備的出口管制,而理由就是為了「國家安全」,據悉新規預計2023年夏季之前出台。
也就是說,針對「三方協議」,日本、荷蘭最終還是做出了選擇,一些外媒也表示:一切幾乎已塵埃落定!那到底會影響哪部分設備呢?
ASML第一時間發表聲明
針對此事,ASML第一時間通過官網發表了聲明,明確指出新的規定涉及的設備為先進的芯片制造設備。而且ASML還表示,需要重新申請許可,才能出口最先進的浸沒式DUV光刻機,不過新規并非針對所有的浸沒式光刻機,而是針對「最先進的」。什麼意思呢?
ASML的浸沒式光刻機主要有3個型號,TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i 和TWINSCAN NXT:1980Di。TWINSCAN NXT:2000i和之后的型號將會受到限制,即便重新申請許可,也基本沒戲!但不影響1980Di的正常出貨。這意味著什麼呢?
據ASML介紹,1980Di 的分辨率達到≤38nm,每小時可以生產275片晶圓,不過,雖然分辨率僅為38nm,但多重曝光之下,還可以支持7nm左右,台積電第一代7nm工藝芯片就是通過1980Di實現的。只不過過程更為復雜、成本也更高,良品率也會打折扣,但是用于生產14nm工藝芯片,還是綽綽有余!三方協議所限制的2000i及2050i,主要是為EUV混合使用而設計。
簡單來說,ASML的表態也意味著并不影響與中芯國際等國內晶圓廠之間的合作,只是無法出貨最先進的DUV光刻機。這也是為什麼ASML此前透露,2023年及未來的營收不會受到太多影響,這點來看和新規對應上了。而針對ASML的出貨范圍調整,中芯國際在接受記者提問時也做出了回應稱:目前公司運營正常,并未收到相關通知,畢竟1980Di并不影響中芯國際生產14nm芯片。
而針對此事,一些外媒表示:三方協議對中國生產14nm工藝芯片并不影響,我們到底制裁了什麼?
為什麼只有1980Di型號?其實大家心里都有一個答案,因為這或許是ASML在大陸僅剩的市場空間。我國自主研發的90nm光刻機3次曝光下可以達到22nm左右的水平,雖然是90nm光刻機的極限,但已經能夠滿足28nm大部分成熟工藝芯片市場的需求。尤其當上海微電子的28nm精度光刻機已經到了最后的攻堅階段,如果所有DUV光刻機無法進入大陸市場,今后可能再無ASML的立足之地。
所以,老美在遏制我國半導體產業的同時,還留了一個強大的競爭對手,試圖通過抑制市場來延緩中企對光刻機的研發力度。所以我們要認清現實,加強對光刻機的研發力度,更要充分發揮市場在科技孵化中的作用!