ASML不嘲諷了?CEO溫寧克:我們也想賣大陸光刻機,只不過做不到

過人君 2022/12/04 檢舉 我要評論

2002年,一個叫賀榮明的中國人,帶著公司的核心技術人員,來到了荷蘭南部靠近比利時邊境的小鎮費爾德霍芬。他們身上背著很重的任務,那就是被列入863重大科技攻關計劃的光刻機,此行的目的是與ASML開展技術合作,最不濟學點東西也好。但賀榮明沒想到,對方壓根就沒把東亞的客人放在眼里,撂下一句:就算給你們圖紙,也造不出來高端光刻機。

上海微電子

一根刺,扎了咱們20年

這句話不僅僅是不禮貌,還很離譜。因為當時最先進的制程工藝,不過是130nm,算不上多麼高端。而ASML自己,只是因為恰好選中了林本堅提出的浸潤式光刻,才「上岸」不久。所以,賀榮明是越想越氣,腦子里再也沒有什麼貿工技還是技工貿了。 回到了上海微電子之后,一門心思研究技術,并在2007年造出了國內首台高端投影光刻機樣機。

ASML

ASML:我們的目標是EUV

但這還不夠,因為同年的ASML,已經開始在SPIE(光刻技術博覽會)上,對外展示了自己關于EUV光刻機的攝像。參會的日本專家湯之上隆,后來在書里這樣回憶道: 太陽系在銀河系的最右端,這里有人類賴以生存的地球。然而,EUV量產機與太陽系的距離,卻達到了10萬光年之遠。很明顯,湯之上隆被鎮住了,他知道ASML打算干嘛,也知道那將會是一顆凝聚全球心血的智慧結晶。

張忠謀

轉折出現

因此,ASML就更囂張了,常年跟張忠謀一唱一和。一個說「大陸廠商造不了EUV光刻機」,另一個說「大陸專心研究芯片就行」。直到2019年,拐點才真正出現。 這一年,ASML發現自己頂不住了,必須靠蔡司供應更好的透鏡才行,也就是從硬件上物理升級。于是,ASML向蔡司追加了20億美元的投資,將共同研發NA=0.55的High NA(高數值孔徑)透鏡,用于制造可生產3nm以下工藝芯片的光刻機。

台積電

但蔡司想要升級透鏡,又談何容易?一方面,拋光透鏡的蔡司員工,已經是祖孫三代同處一個崗位,實在沒辦法更卷。賀榮明說過:同樣一個鏡片,不同工人去磨,光潔度相差十倍。另一方面,蔡司的透鏡精度已經達到了皮米級別(千分之一納米),很難想象還能怎麼卷。 有人曾經打過這樣一個比方:將平底鍋大小的透鏡,放大到整個德國那麼大(24.36萬平方公里),最高的山坡,不能超過1毫米。

華為

最后的一唱一和

與此同時,中國廠商正在加速追趕。2002年的時候,中國連一台液晶電視的顯示屏,都必須進口,何談創立自己的電子消費品品牌。 但是2019年的時候,華米OV都已經站了出來,中國半導體已經邁出了最關鍵的一步,那就是把自己的市場掌握在自己手里。在生產端,梁孟松已經加入中芯國際兩年時間。ASML也許不識泰山,但老東家台積電可是明白,接下來會發生什麼。

中芯國際

2021年,中國半導體投資額暴漲至1400億的第二年。90歲的退休老人張忠謀再度走向台前,一改此前的紅臉扮相,給咱們結結實實地潑了一盆冷水:大陸的半導體制造落后TSMC 5年以上,還不是對手。 ASML總裁溫寧克反過來勸起了老美,卡華為脖子非但不能阻礙大陸廠商的進步,在傷害自身發展的同時,還會加快他們自主研發的速度。紅臉張飛,白臉曹操,一如許多年前。

溫寧克

ASML變了

2022年,中芯國際交出14nm-28nm份額大幅提升的漂亮答卷,梁孟松也表示距離試產7nm,只差一台EUV光刻機。溫寧克在1月份給自己壯膽,又似乎有點得罪我們,說:大陸不大可能獨立復制頂尖的光刻技術。這還不算完,3月28日,觀察者網帶來了溫寧克的最新表態: 這不是我們的選擇,而是《瓦森納協定》讓我們別無選擇。言下之意就是我們也想賣中國光刻機。

高通

這是自賀榮明探訪ASML,20年以來,ASML首次放下心高氣傲,心平氣和,甚至略帶討好地跟我們說話。為什麼?除了前面提到的自研進展之外,還有一個重要因素就是「小芯片技術」的普及。小芯片是一種,通過把多張小規格芯片,封裝成異構芯片,從而減少研發成本,并繞開后摩爾定律的技術。 兩張及以上的14nm芯片,就可以實現7nm,甚至5nm芯片的性能。換言之,EUV光刻機不再是必選項。

英特爾

目前,英特爾高通等一眾企業,已經聯合起來,創建了一個完全拒大陸企業于門外的小芯片聯盟。而咱們自己,也因為無法得知任何封裝技術細節的原因 ,在3月下旬,傳出了「已經列好,專為中國市場量身定制的小芯片相關草案」的消息。結合上海微電子即將量產28nm光刻機的進展來看,ASML再看不清局勢,向咱們說幾句好話,恐怕機子就要砸在手里。


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