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把論文公開中國也造不出EUV光刻膠?日本口出狂言,卻被韓國打臉

白昼之梦 2023/03/18

國外許多供應商巨頭在半導體行業起步較早,針對芯片技術的各項研究早在半個世紀以前就開始了。不僅研究領域廣闊,而且還積累了大量專利,于是這給了西方很大的自信。

比如ASML表示提供圖紙別人也造不出頂級光刻機,還有日本光刻膠巨頭JSR也表示把論文公開中國也造不出EUV光刻膠。日本口出狂言,卻被韓國打臉了。

光刻膠是芯片關鍵原材料,在芯片光刻過程中,光刻膠起到的作用是保護襯底基座,同時把光刻機曝光的芯片圖案轉移到晶圓表面。

換句話說,光刻膠承載了芯片圖案的曝光,如果沒有光刻膠,晶圓便無法顯影。如此重要的材料,也是有制程之分的,對應光刻機制程從低到高分別為G線、I線、KrF、ArF、EUV。

從KrF光刻膠開始,市場份額,核心技術以及都掌握在日企手中,以JSR為例,這家日企生產的EUV光刻膠占據全球最大的市場份額。整體來看,日企占全球7成以上的光刻膠市場份額,已經達到了壟斷級水準。

上個世紀六十年代,日本企業就在研發光刻膠產品,到了1998年,日本更是著手研究EUV光刻膠。

大量的時間沉淀讓日本站在半導體材料行業的頂端,也給企業帶來了很大的自信,或者說是自負。JSR公開表示,中國很難開發出先進光刻膠技術,甚至把論文公開也造不出EUV光刻膠。

JSR針對的其實并非中國,而是其他沒有掌握EUV光刻膠技術的國家地區。在JSR看來,EUV光刻膠技術不是那麼好突破的。

所以從2019年開始,日本就加強了對韓國光刻膠材料的限制,多年的限制倒逼韓國加強研發,日本的口出狂言被韓國打臉了。為了擺脫對日本光刻膠的依賴,韓國廠商這些年不斷加速EUV光刻膠的研發。

就在去年12月份,韓國光刻膠廠商東進世美肯突破EUV光刻膠技術,并在三星電子生產線通過可靠性測試。這款光刻膠產品預計在今年上半年批量投產,韓國就此打破了日本光刻膠的壟斷。

不只是東進世美肯,韓國YOUNGCHANG 化學以及SK 材料這兩家公司也在研究EUV光刻膠,雖然仍在研發階段,但有了東進世美肯的成功案例,若得到韓國的扶持,另外兩家也有可能邁出最后一步。

日本廠商不看好其它國家研發EUV光刻膠,結果被韓國打臉。如此一來,日本開始著急了,要是任由韓國發展下去,不但達不到限制的效果,反而會失去一大筆生意。

于是日本正式宣布,將解除對韓國光刻膠材料的出口限制,允許韓國繼續從日本采購光刻膠材料。日本對韓國光刻膠限制已有3年多了,而且解禁的時期正好是在韓國突破EUV光刻膠之后。這說明什麼?很顯然,說明了一旦掌握了核心技術,擁有自給自足的能力,不論有怎樣的限制都沒有意義了。

韓國給我們做了一個榜樣,在被限制的這麼多年里,韓國并未放棄研發,反而加大研究力度。不僅打破了日本的壟斷,還打破了限制規則,更狠狠打臉了日本的口出狂言。

這種自研精神值得我們學習,那麼國產光刻膠處于怎樣的水平呢?國內的光刻膠廠商也有不少,比如南大光電、晶瑞電材、上海新陽等等。

其中南大光電正在研發ArF光刻膠,可應用于90nm-28nm,目前實現了少量供貨。而晶瑞電材的KrF光刻膠已經實現了量產。上海新陽的光刻膠研究似乎到了EUV的水準,當然,僅僅是研究階段。

實際的主流產品依然是KrF和ArF為主。中國光刻膠產業起步較晚,沒有先手優勢,很多專利技術,產業配套設施都需要時間積累。

別的暫且不說,單單是光刻機就需要從國外大量進口。因為研發光刻膠需要用上光刻機進行配套試驗,通過光刻機的曝光測試隨時調整產品。

韓國作為一個五千多萬人口的國家,尚且能突破EUV光刻膠技術,相信國產廠商在持續努力下,也能邁出最終一步。甚至不只是光刻膠,其余的光刻機、拋光機、清洗機、離子注入機等等半導體設備也能達到頂尖水準。


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