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華為公布光刻機專利后,中芯公布擴產計劃,荷蘭:ASML會持續供貨
2022/11/24
2022/11/24

或許很多朋友不是很了解,雖然現在的光刻機巨頭是荷蘭的ASML,日本的尼康和佳能也占有部分市場份額,但是最初的光刻機市場,主要是被美國企業所占有,但隨著光刻機市場競爭的加劇,美國光刻機企業紛紛走向倒閉和被收購的境地,最終形成了ASML、尼康和佳能三足鼎立的局面。

不過ASML憑借著雙工件台、浸潤系統和EUV技術,最終走向了光刻機巨頭霸主的地位,也就是說,ASML深知,自己曾經也是一個名不見經傳的光刻機小廠,而曾經的光刻機美企巨頭也會隕落,因此,即便是光刻機市場,也難以有永遠的勝者。

而除了技術,更重要的還有市場,當初ASML為了得到台積電的訂單,不惜出錢出力幫助張忠謀,親手指導台積電如何管理晶圓廠;為了得到三星的訂單,ASML方面忍氣吞聲,甚至感覺到自己不被尊重,誰能想到現在風光無限的ASML,曾經也有過這樣不堪的過往。

因此我們也就可以理解,在老美要求ASML除了禁止向我們出售EUV光刻機,還要禁止出售DUV光刻機后,ASML方面會表示出拒絕,就在今年年初的時候,ASML方面已經表示,物理定律在荷蘭與在中國是一樣的,中國不是沒可能制造出頂級光刻機。

這是ASML方面首次從技術上承認了中企的實力,巧合的是,就是在今年的第一季度,ASML對中企的交貨量大幅提升,來自中企的訂單占據了ASML營收的34%,比2021年第四季度提升了約50%。

此外,近日華為方面突然公開了一項EUV光刻機專利,當然,這對于我們國產EUV光刻機來說是一個好消息,但其實,我們在EUV光刻機上已經有了數量可觀的專利積累,華為并非是首例。

如果大家感興趣,可以在國家知識產權局官網查詢相關EUV專利,你會發現,我們中企、研究機構、大學等擁有EUV專利的主體眾多,專利持有量同樣如此,如果還有興趣,那麼可以查詢下中科院上海光機所,你會看到對于EUV光刻機,已經早已進行非常細分的職位招聘,而就在近日,還對EUV光源方面進行了招聘。

在今年的早些時候,國望光學方面開始對潔凈室進行招標,而國望光學是我國負責光刻機光學曝光系統的主力,大家請看下圖。

這意味著,我們國產28納米光刻機已經可以期待了,而通過ASML的發展歷史推算,從28納米到10納米光刻機,大概只需要5年左右的時間,因為28納米是一個關鍵節點,這個節點就解決了DUV光刻機在光源、物鏡、浸潤系統等方面的核心問題,所以突破28納米,后續的升級工作就會容易的多。

我們相信,所有這些事情都發生在今年第一季度,這或許并非只是一個巧合,但已經讓我們看出,在技術上,ASML已經感到了壓力,再來說市場方面。中芯國際近日又宣布了一項總計34萬片12英寸晶圓的擴產計劃,毫無疑問,所需要用到的光刻機自然是DUV光刻機。

而在DUV光刻機上,以ASML在2021年的財報來看,其光刻機營收共計是136億歐元,其中EUV光刻機貢獻了53億歐元,DUV光刻機貢獻了63億歐元,服務收入則是50億歐元。

也就是說,DUV光刻機才是ASML的營收主力,排在三大營收的第一位,其中DUV光刻機的銷量約是EUV光刻機的5倍,更多的銷量意味需要更多的售后服務人員,所以DUV光刻機同時也為服務收入的增加提供了保障。

因此我們結合全文來看,ASML是難以割舍DUV光刻機市場,尤其是中國市場,因為現在只有中國市場在大量購買DUV光刻機,更重要的是,中企在DUV光刻機上可能時刻會出現質的突破,如果ASML主動放棄這個市場,后果只能說不堪設想。

上文中我們已經提到,ASML深知得到市場的不易,也深知失去市場后可能會面臨的后果,總之我們看到,荷蘭方面隨后再次重申,將會捍衛自己的利益,拒絕聽從美國方面提出的請求,荷蘭外貿與發展合作大臣表示,荷蘭將就ASML向中企銷售光刻機的事宜做出自己的決定。

因此一切都已經清晰了,實際上,近幾年來,ASML積極參加我國舉辦的進博會,就已經代表了一切,這說明,我們國產光刻機已經成為了ASML潛在的競爭者,ASML已經需要站出來展示自己的實力了,倪光南院士就強調過,要掌握核心科技,因為核心科技是買不來、求不來的,現在來看,確實如此。


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