自從《瓦森納協定》之后,中企就無法購買EUV光刻機,致使如今中芯國際無法踏足先進制程工藝水平,如今美日荷協議再一次要求ASML斷供DUV光刻機,中企面臨難題。
不過ASML并不想接受美方的斷供要求,不僅重新定義「最先進」DUV光刻機,總裁溫寧克還主動訪華,目前ASML明確表態持續出貨光刻機之后,一個奇怪的現象出現了!
在《瓦森納協定》之后,中芯國際自知短時間內不再有機會獲得EUV光刻機,選擇走向了成熟工藝的14nm制程和28nm制程,先后建設4座晶圓廠。
尤其在2022年的時候,不僅向ASML下達了一個價值高達11億美元的「超級大單」,還將企業年支出份額提升到66億美元,很明顯就是為了購買半導體設備。
可在不久前ASML總裁溫寧克訪華會晤中國商務部部長王文濤后,就明確表態將可以持續出貨1980Di型號的ArF浸潤式光刻機,代表了該企業不愿意放棄中國市場的態度。
隨后,中芯國際宣布將在下半年進行調整,中芯京城項目從試生產階段進入投產階段,按照邏輯線來說,應該就是ASML可以繼續向中芯國際出貨DUV光刻機。
畢竟荷蘭簽署的美日荷協議尚未落地,只是ASML表態2000i和2050i將被定義為「最先進」概念,協議落地后將無法出貨。
可中芯國際不僅沒有追加購買能夠出貨的1980Di,也沒有新動作,這一幕令人聯想到了兩種可能。
其一,中芯國際向ASML購買的11億美元訂單正是目前被定義為「最先進」的2000i和2050i,由于協議尚未落地的緣故可以繼續供應。
并且ASML總裁也許在訪華行程中,正式表態了美日荷協議的大概落地時間,所以中芯京城打破了原先設備瓶頸的問題,在下半年正式進入投產階段。
而沒有繼續追加訂單的原因也不難猜,不說1980Di型號光刻機是否會如ASML所愿,不受美日荷協議的影響,2000i和2050i必然將會成為其中限制的設備。
雖說1980Di通過多重曝光的情況下,也是可以進行7nm制程芯片代工,尤其CEO梁孟松還曾表示已經具備7nm制程工藝的量產技術。
但中芯國際需要的并不是這款設備,并且由于DUV光刻機制造7nm制程芯片的成本太高,目前該企業并沒有量產先進制程芯片的打算。
當然,最重要的還是因為目前中美關系達到了「冰點」,目前追加訂單難保作為極端資本主義的美利堅不會再次使用手段。
其二,國產半導體設備已經在近些年來逐漸突破,尤其是刻蝕機、封測設備等,目前已經達到了先進制程水平。
即便是作為研發難度較大的光刻機和涂膠顯影設備,也均達到了28nm制程,前者目前上海微電子一直處于調試狀態,所剩的唯一一個階段就是交付商家,成功后即可投入量產。
后者目前芯源微已經成功與晶圓廠商交付,目前已經投入量產,同時意味著我國即將擁有首條全國產設備的28nm制程芯片生產線。
而沒有新動作的原因隱隱有著一種關聯,前面提到了上海微電子的28nm制程光刻機缺少一個交付廠商,反觀中芯國際建造了4座晶圓廠均側重28nm制程,簡直不謀而合。
所以,在某種意義上來說,中芯國際很可能是在為國產半導體芯片生產線做調試工作,并與上海微電子共同測試國產28nm制程光刻膠的能力。
畢竟雖說中芯深圳已經進入投產階段,但中芯京都的設備到手之前尚無法確定,尤其是中芯西青和中芯東方,目前還在建設階段。
國產半導體生產線是我國自主研發的必經之路,而中芯國際作為國內最大規模的晶圓廠商,測試機器什麼的,自然是義不容辭!
值得一提的是不久前工信部組建了「全國集成電路標準化技術委員會」,目前已經加入了大量杰出中企,包括中芯國際、海思、華為、上海微電子等企業。
基于集成電路標委會的努力,相信無論是半導體芯片還是半導體設備,不久的將來都將實現自給自足!